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2년 전 250억원의 영업손실을 기록, 사세가 기울었다는 평가를 받던 때와 정반대 모습이다.

환골탈태 배경으로는 ‘원자층증착공법(ALD)’ 기술이 꼽힌다.

반도체 미세공정이 중요해지면서 ALD 장비 사업 매출이 크게 뛰었고, 지난해 역대급 실적을 달성했다는 평가다.

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ALD는 증착 방식 중 하나다. 증착은 불필요한 회로를 제거한 웨이퍼 위에 분자, 원자 단위의 박막을 입히는 일련의 과정을 의미한다. 증착은 크게 물리적 증착 방식(PVD)과 화학적 증착 방식(CVD), ALD로 나뉜다. PVD는 금속 박막 증착에 주로 사용되고 CVD는 반도체, 부도체, 도체 등 다양한 부문의 박막증착에 사용된다. ALD는 박막 두께 조절이 용이하고, 이물 오염이 적다는 게 특징이다. 반도체 공정의 미세화로 최근 선호되는 방식이다.

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ALD는 주성엔지니어링의 약점으로 꼽히던 ‘SK하이닉스 매출 의존도’ 문제도 풀어냈다.

본격적으로 미세공정을 도입한 중국 반도체 업체들의 ALD 관심도가 높아졌고, 자연스레 매출로 이어졌다. 지난해 3분기(누적) 주성엔지니어링의 반도체 장비 매출은 3053억원, 이 중 약 1200억원 정도가 중국향 매출이다. 2021년 같은 기간 중국향 매출은 약 540억원에 불과하다.

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